隨著信息化時(shí)代的到來(lái)，微電子行業(yè)也在迅速發(fā)展，微電子廠給社會(huì)帶來(lái)的經(jīng)濟(jì)效益及就業(yè)率有目共睹的，但隨之而來(lái)的還有對(duì)大氣的污染。由于微電子行業(yè)對(duì)操作室清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過(guò)程中揮發(fā)的各類廢氣，因此微電子行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。

主要成分：微電子行業(yè)廢氣主要為有機(jī)廢氣和酸堿廢氣兩類。有機(jī)類有：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿類有：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。

主要來(lái)源：在微電子行業(yè)中造成環(huán)境污染的有害氣體，主要來(lái)源于芯片或者是線路板生產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過(guò)程中。

主要危害：微電子行業(yè)主要是元器件組裝焊接過(guò)程中對(duì)大氣的污染和電路板等器件清洗等表面處理過(guò)程中因使用一些化學(xué)藥劑（如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機(jī)鹵化物）揮發(fā)造成對(duì)大氣環(huán)境的污染，以及整機(jī)裝配過(guò)程中產(chǎn)生的機(jī)械噪聲和少量粉塵也會(huì)造成環(huán)境污染，這些污染氣體會(huì)造成人群慢性或急性中毒。

處理方案：

洗滌塔：一般采用氣液逆流操作，風(fēng)機(jī)組將收集到的廢氣吸到廢氣吸收洗滌凈化塔內(nèi)，經(jīng)過(guò)填料層，廢氣與吸收液進(jìn)行氣液兩相充分接觸吸收中和反應(yīng)，廢氣經(jīng)過(guò)凈化后，再經(jīng)除霧板脫水除霧后，由風(fēng)機(jī)排入大氣。吸收液在塔底經(jīng)水泵增壓后在塔頂噴淋而下，最后回流到塔底循環(huán)使用。

適用風(fēng)量：≤100000m3/h

處理效率：85-99%

性能特點(diǎn)：

1.采用填料塔對(duì)廢氣進(jìn)行凈化，適合于連續(xù)和間歇排放廢氣的治理；

2.工藝簡(jiǎn)單，管理方便、操作及維修相當(dāng)方便簡(jiǎn)潔，不會(huì)對(duì)車間的生產(chǎn)造成任何影響；

3.適用范圍廣，可同時(shí)凈化多種污染物；

4.壓降較低，操作彈性大，且具有很好的除霧性能；

5.塔體可根據(jù)實(shí)際情況采用PP/玻璃鋼等材料制作；

6.填料采用高效、低阻的鮑爾環(huán)，可徹底地去除氣體中的異味、有害物質(zhì)等；

7.工業(yè)廢氣處理設(shè)計(jì)周密、層層凈化過(guò)濾廢氣，效果較好，去除率可高可達(dá)99%以上。

活性炭吸附：該技術(shù)能高效吸收苯、醇、酮、酯、汽油類等有機(jī)廢氣，適用于大風(fēng)量低濃度的廢氣治理。該方法是利用活性炭本身高強(qiáng)度的吸附力，結(jié)合風(fēng)機(jī)作用將有機(jī)廢氣分子吸附住，對(duì)苯、醇、酮、酯、汽油類等有機(jī)溶劑的廢氣有很好的吸附作用。

適用濃度：0-300 mg/m3

適用風(fēng)量：1000-100000 m3/h

處理效率：80-90%

性能特點(diǎn)：

1.吸附效率高達(dá)90%，吸附容量大，適用面廣；

2.維護(hù)方便，無(wú)需過(guò)多人力投入要求；

3.比表面積大，良好的選擇性吸附，能同時(shí)處理多種混合廢氣；

4.活性炭具有來(lái)源廣泛價(jià)格低廉等特點(diǎn)；

5.操作簡(jiǎn)易、安全。